穗环管影（增）〔2022〕121号

广州增芯科技有限公司：

　　你公司报送的《12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目环境影响报告表》（以下简称《报告表》）及相关资料收悉。经研究，现对《报告表》批复如下：

　　一、广州增芯科技有限公司拟于广州市增城区创新大道、新和北路、永宁大道围合区域（广州增城经济技术开发区）建设12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目。项目占地面积246819.815平方米，建筑面积180810.22平方米，主要包括一栋三层厂房、一栋六层研发办公楼、一栋单层硅烷站、两栋单层甲类仓库、一栋三层乙类仓库、一个单层危废仓、一栋四层综合动力厂房等主体和公辅设施。项目建成后拟从事12英寸集成电路晶圆的加工生产，分两阶段进行投产，第一阶段预计年产24万片，第二阶段预计增产48万片至总产能72万片。项目劳动定员2000人，均在厂内就餐住宿，全年工作365天，生产线日工作24小时。项目总投资1700000万元，其中环保投资46430万元，占总投资2.73%。

　　根据《报告表》的评价结论及其技术评估意见（穗环投咨字〔2022〕202号），在全面落实《报告表》提出的各项污染防治措施，确保污染物稳定达标的前提下，我局原则同意《报告表》的评价结论。

　　二、在项目建设和运营过程中，应认真落实《报告表》提出的各项环境保护对策措施，重点做好以下工作：

　　（一）施工期，项目施工废水回用，不外排；施工人员生活污水经预处理达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，经市政污水管网排入永和污水处理厂处理达标后排放。施工期，扬尘等大气污染物排放执行广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）。施工期，项目施工场界噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）的要求。

　　（二）营运期，厂区实行雨污分流，分质处理。生活污水经预处理达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准后，经市政污水管网排入永和污水处理厂处理达标后排放。

　　项目含氨废水、含氟废水、研磨废水、含铜废水、酸碱废水经自建污水处理设施处理后，执行广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）中第二时段三级标准与《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1的间接排放限值较严值（其中氟化物执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1的直接排放限值，即氟化物≤10mg/L），经专用工业污水管网排入永和污水处理厂三期处理达标后排放。

　　（三）营运期，工艺废气中氟化物、硫酸雾、氯化氢、氯气、氮氧化物、二氧化硫、颗粒物、砷及其化合物排放执行广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）（第二时段）二级标准；氨气排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中的二级（新改扩建）标准；磷烷和硅烷参照执行《环境影响评价技术导则制药建设项目》(HJ611-2011)附录C中多介质环境目标值估算DMEG值和《荷兰排放导则》（NER）中排放限值的较严值；总VOCs执行广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）中排放限值；餐饮油烟执行《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）；柴油发电机组使用轻质柴油为燃料，执行广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）（第二时段）二级标准。

　　氟化物、硫酸雾无组织排放执行广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值；氨气、臭气浓度无组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）恶臭污染物厂界新改扩建二级标准。厂区内有机废气无组织排放执行广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）中表3厂区内VOCs无组织排放限值。

　　项目低氮燃烧发生器使用天然气为燃料，产生燃烧废气，其中二氧化硫、颗粒物执行《锅炉大气污染物排放标准》（DB44/765-2019）新建燃气锅炉大气污染物特别排放浓度限值，氮氧化物执行50mg/m³限值要求。

　　（四）营运期，项目东、南厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求，西、北厂界噪声执行4类标准要求。

　　（五）应对固体废物实行分类收集、处置，防止造成二次污染。一般固体废物的处置应符合固体废物污染环境防治的相关规定，危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及2013年修改单的要求。

　　（六）加强环境风险防范和应急工作，编制完善的环境风险应急预案，落实各项环境风险防范和应急措施，提高环境事故应急处理能力，保障环境安全。

　　（七）该项目全厂主要污染物排放量为化学需氧量71.668吨/年、氨氮0.436吨/年、VOCs15.0924吨/年、氮氧化物30.5814吨/年，主要污染物总量指标替代为化学需氧量143.336吨/年、氨氮0.872吨/年，来源于广州增城北控水处理有限公司；VOCs30.1848吨/年，来源于广州钰琪璐塑胶科技有限公司；氮氧化物61.1628吨/年，来源于“十四五”期间的重点工程减排项目所产生的替代总量指标。

　　（八）国家或地方对该项目污染物排放有新标准新要求的，从其规定执行。

　　三、根据《建设项目环境保护管理条例》有关规定，建设项目需要配套建设的环境保护设施，必须与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用。项目竣工后，你公司应当按照国家和地方规定的标准和程序，对配套建设的环境保护设施进行验收，经验收合格后方可投入使用。

　　四、本项目建设和运行过程中如涉及规划、土地利用、建设、水务、消防、安全等问题，按相关部门规定和意见执行。

　　五、如您对本机关作出的决定不服，可在收到文书之日起60日内向广州市人民政府（地址：广州市越秀区小北路183号金和大厦2楼市政府行政复议办公室，电话：020-83555988），也可向广东省生态环境厅（地址：天河区龙口西路213号，电话：020-87533928）申请行政复议；或者在收到文书之日起6个月内直接向广州铁路运输法院提起行政诉讼。根据《广东省人民政府关于县级以上人民政府统一行使行政复议职责有关事项的通告》（粤府函〔2021〕99号）的规定，自2021年6月1日起县级以上人民政府统一行使行政复议职责，建议您向广州市人民政府提出行政复议申请。

广州市生态环境局

2022年10月24日